Ìmọ̀ ẹ̀rọ gige waya Diamond ni a tún mọ̀ sí ìmọ̀ ẹ̀rọ gige abrasive consolidation. Ó jẹ́ lílo electroplating tàbí ọ̀nà resini láti fi abrasive diamond tí a so pọ̀ mọ́ ojú irin, waya diamond tí ó ń ṣiṣẹ́ tààrà lórí ojú irin silicon tàbí silicon ingot láti mú kí a lọ̀ ọ́, láti ṣe àṣeyọrí ìgé. Gígé waya Diamond ní àwọn ànímọ́ bí iyára gígé kíákíá, ìṣeéṣe gígé gíga àti pípadánù ohun èlò díẹ̀.
Lọ́wọ́lọ́wọ́ báyìí, ọjà crystal kan ṣoṣo fún yíyan waya diamond waya ti gba gbogbo rẹ̀, ṣùgbọ́n ó tún ti rí i nígbà tí wọ́n ń gbé e ga, lára èyí tí velvet white jẹ́ ìṣòro tí ó wọ́pọ̀ jùlọ. Nítorí èyí, ìwé yìí dá lórí bí a ṣe lè dènà yíyan waya diamond waya monocrystalline silicon wafer velvet white.
Ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ ti gígé wáyà diamond waya monocrystalline silicon wafer ni láti yọ wáyà silicon wafer tí a gé ní ọwọ́ ẹ̀rọ gígé wáyà kúrò nínú àwo resini, láti yọ ìlà roba kúrò, kí o sì nu wáyà silicon wafer náà. Ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́ jẹ́ ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ ṣáájú (ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́) àti ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́. Ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ pàtàkì ti ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ ṣáájú ni: fífún-fún-fún-fún-fún-ultrasonic cleaning-degumming-wáyà mímọ́-fún-ún-fún-ún. Ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ pàtàkì ti ẹ̀rọ ìwẹ̀nùmọ́ ni: fífún-fún-fún-fún-fún-fún-fún-fún-fún-ún ...
Ìlànà ṣíṣe féfé onígun kan ṣoṣo
Wafer silikoni monocrystalline ni abuda ti anisotropic corrosion ti wafer silikoni monocrystalline. Ilana iṣe naa ni idogba iṣe kemikali wọnyi:
Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑
Ní pàtàkì, ìlànà ìṣẹ̀dá suede ni: Ojútùú NaOH fún ìwọ̀n ìbàjẹ́ tó yàtọ̀ síra ti ojú kristali tó yàtọ̀ síra, (100) iyára ìbàjẹ́ ojú ju (111) lọ, bẹ́ẹ̀ náà (100) sí wafer silicon monocrystalline lẹ́yìn ìbàjẹ́ anisotropic, tó wá láti orí ojú fún (111) cone onígun mẹ́rin, ìyẹn ni ètò “pyramid” (gẹ́gẹ́ bí a ṣe fihàn nínú àwòrán 1). Lẹ́yìn tí a bá ṣẹ̀dá ètò náà, nígbà tí ìmọ́lẹ̀ bá ṣẹlẹ̀ sí òkè pyramid ní igun kan pàtó, ìmọ́lẹ̀ náà yóò fara hàn sí òkè ní igun mìíràn, yóò sì ṣẹ̀dá ìfàmọ́ra kejì tàbí jù bẹ́ẹ̀ lọ, èyí á dín ìfarahàn lórí ojú silicon wafer kù, ìyẹn ni ipa ìdẹkùn ìmọ́lẹ̀ (wo Àwòrán 2). Bí ìwọ̀n àti ìbáramu ètò “pyramid” bá ṣe dára tó, bẹ́ẹ̀ ni ipa ìdẹkùn náà ṣe hàn gbangba tó, àti bí ìtújáde ojú silicon wafer ṣe ń lọ sílẹ̀.
Àwòrán 1: Ìmọ̀ nípa ìṣẹ̀dá wafer silikoni monocrystalline lẹ́yìn ìṣẹ̀dá alkali
Àwòrán 2: Ìlànà ìdẹkùn ìmọ́lẹ̀ ti ìṣètò “pírámì”
Ìṣàyẹ̀wò ìfúnpọ̀ kirisita kan ṣoṣo
Nípa ṣíṣàyẹ̀wò microscope elekitironi lórí wafer silikoni funfun, a rí i pé ìṣètò pyramid ti wafer funfun ní agbègbè náà kò tíì ṣẹ̀dá, ojú náà sì dàbí pé ó ní ìpele “waxy” drops, nígbà tí ìṣètò pyramid ti suede ní agbègbè funfun ti wafer silikoni kan náà ti ṣẹ̀dá dáradára (wo Àwòrán 3). Tí àwọn ìṣẹ́kù bá wà lórí ojú wafer silikoni monocrystalline, ojú náà yóò ní agbègbè “pyramid” offside size àti ìṣẹ̀dá ìṣọ̀kan àti ipa ti agbègbè déédé kò tó, èyí tí yóò yọrí sí àfihàn ojú velvet tí ó kù ga ju agbègbè déédé lọ, agbègbè tí ó ní àfihàn gíga ní ìfiwéra pẹ̀lú agbègbè déédé nínú ìríran tí a fihàn gẹ́gẹ́ bí funfun. Gẹ́gẹ́ bí a ṣe lè rí láti inú ìrísí ìpínkiri agbègbè funfun náà, kì í ṣe ìrísí déédé tàbí déédé ní agbègbè ńlá, ṣùgbọ́n ní àwọn agbègbè nìkan. Ó yẹ kí ó jẹ́ pé àwọn ohun ìdọ̀tí agbègbè lórí ojú wafer silikoni kò tíì wẹ̀, tàbí ipò ojú wafer silikoni jẹ́ nítorí ìbàjẹ́ kejì.
Àwòrán 3: Àfiwé àwọn ìyàtọ̀ agbègbè nínú àwọn wafer silikoni funfun velvet
Ojú wafer silikoni onígi tí a fi waya diamond ṣe jẹ́ dídán mọ́lẹ̀ jù, ìbàjẹ́ náà sì kéré sí i (gẹ́gẹ́ bí a ṣe fi hàn ní Àwòrán 4). Ní ìfiwéra pẹ̀lú wafer silikoni onígi tí a fi waya diamond ṣe, iyára ìṣesí ti alkali àti wafer silikoni onígi tí a fi waya diamond ṣe jẹ́ kíákíá ju ti wafer silikoni onígi tí a fi waya diamond ṣe lọ, nítorí náà ipa àwọn ohun tí a fi omi dì lórí ipa velvet hàn gbangba.
Àwòrán 4: (A) Ìwọ̀n ìrísí ojú ilẹ̀ ti ìrísí mótà tí a gé sílíkọ́nì (B) ìrísí ojú ilẹ̀ ti ìrísí mótà tí a gé sílíkọ́nì
Orísun àṣẹ́kù pàtàkì ti ojú ohun èlò wafer silikoni tí a fi waya gé
(1) Ohun èlò ìtútù: àwọn ohun pàtàkì tí ó wà nínú ohun èlò ìtútù oníwọ̀n díámọ́ǹdì ni surfactant, dispersant, defamagent àti omi àti àwọn èròjà míràn. Omi ìtútù tí ó ní iṣẹ́ tó dára ní ìdádúró tó dára, ìtújáde àti agbára ìfọmọ́ tó rọrùn. Àwọn ohun èlò ìtútù sábà máa ń ní àwọn ànímọ́ hydrophilic tó dára jù, èyí tí ó rọrùn láti fọ kúrò nínú ilana ìwẹ̀nù silicon wafer. Bí àwọn ohun èlò ìtútù wọ̀nyí bá ń gbilẹ̀ àti bí wọ́n ṣe ń yípo nínú omi yóò mú kí ọ̀pọ̀ foam jáde, èyí tí yóò mú kí ìṣàn coolant dínkù, tí yóò sì ní ipa lórí iṣẹ́ ìtútù, àti ìṣòro ìfọ́ọ́mù tó le koko àti ìfọ́ọ́mù pàápàá, èyí tí yóò ní ipa lórí lílò rẹ̀ gidigidi. Nítorí náà, a sábà máa ń lo coolant pẹ̀lú ohun èlò ìtútù. Láti rí i dájú pé ìtútù náà ń ṣiṣẹ́, silicone àti polyether ìbílẹ̀ kì í sábà ní hydrophilic tó dára. Ohun èlò ìtútù nínú omi rọrùn láti fà mọ́ra, ó sì wà lórí ojú silicon wafer nígbà tí a bá ń fọ ọ́, èyí tí yóò yọrí sí ìṣòro àbàwọ́n funfun. Kò sì bá àwọn èròjà pàtàkì inú ìtútù náà mu dáadáa, Nítorí náà, ó gbọ́dọ̀ jẹ́ kí a ṣe é sí méjì, Àwọn èròjà pàtàkì àti àwọn èròjà ìtútù ni a fi kún omi, Nígbà tí a ń lò ó, gẹ́gẹ́ bí ipò ìtútù náà, Kò lè ṣàkóso lílo àti ìwọ̀n àwọn èròjà ìtútù náà ní ìwọ̀n, Ó lè jẹ́ kí àwọn èròjà ìtútù náà pọ̀ sí i, Ó lè mú kí àwọn èròjà ìtútù náà pọ̀ sí i, Ó tún rọrùn láti ṣiṣẹ́, Ṣùgbọ́n, nítorí owó tí kò tó láti lo àwọn èròjà ìtútù àti àwọn èròjà ìtútù náà, Nítorí náà, ọ̀pọ̀lọpọ̀ èròjà ìtútù inú ilé ló ń lo ètò ìlànà yìí; èròjà ìtútù mìíràn ń lo èròjà ìtútù tuntun, Ó lè bá àwọn èròjà pàtàkì mu dáadáa, Kò sí àfikún, Ó lè ṣàkóso iye rẹ̀ dáadáa àti ní ìwọ̀n, Ó lè dènà lílo púpọ̀, Àwọn adaṣe náà tún rọrùn láti ṣe, Pẹ̀lú ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ tó yẹ, a lè ṣàkóso àwọn èròjà rẹ̀ sí ìwọ̀n tí ó kéré gan-an, Ní Japan àti àwọn olùpèsè ilé díẹ̀ gba ètò ìlànà ìlànà yìí, Ṣùgbọ́n, nítorí iye owó ohun èlò ìtútù rẹ̀ gíga, àǹfààní owó rẹ̀ kò hàn gbangba.
(2) Ẹ̀yà Lẹ́ẹ̀ àti resini: ní ìpele ìkẹyìn ti ilana gígé wáyà dáyámọ́ńdì, a ti gé wáyà dáyámọ́ńdì tí ó sún mọ́ òpin tí ń bọ̀ ṣáájú, wáyà dáyámọ́ńdì tí a gé ní ìpẹ̀kun ìjáde kò tí ì gé tán, wáyà dáyámọ́ńdì tí a gé ní ìpẹ̀kun ìjáde ti bẹ̀rẹ̀ sí í gé sí ìpele rọ́bà àti àwo resini, Nítorí pé gọ́ọ̀mù ọ̀pá sílíkọ́nì àti pákó resini jẹ́ àwọn ọjà resini epoxy, Ibùdó ìrọ̀rùn rẹ̀ wà láàrín 55 àti 95℃, Tí ibi ìrọ̀rùn ti ìpele rọ́bà tàbí àwo resini bá kéré, ó lè gbóná ní irọ̀rùn nígbà tí a bá ń gé kí ó sì jẹ́ kí ó rọ̀ kí ó sì yọ́, A so mọ́ wáyà irin àti ojú wayà dáyámọ́ńdì, A lè gé wáyà dáyámọ́ńdì tí ó wà ní ìlà dáyámọ́ńdì dínkù, Tàbí kí a gba wáyà dáyámọ́ńdì tí a sì fi resini kùn ún, Nígbà tí a bá so ó pọ̀ mọ́ ọn, ó ṣòro láti fọ̀ ọ́ kúrò, Irú ìbàjẹ́ bẹ́ẹ̀ sábà máa ń wáyé nítòsí etí wayà dáyámọ́ńdì dáyámọ́ńdì.
(3) lulú silikoni: ninu ilana gige waya daimọn yoo mu ọpọlọpọ lulú silikoni jade, pẹlu gige naa, akoonu lulú itutu amọ yoo ga sii, nigbati lulú ba tobi to, yoo faramọ oju ilẹ silikoni, ati gige waya daimọn ti lulú silikoni iwọn ati iwọn yoo yorisi fifa omi silikoni ti o rọrun lati fa lori oju ilẹ silikoni, o jẹ ki o nira lati nu. Nitorinaa, rii daju pe o ṣe imudojuiwọn ati didara ti itutu naa ki o dinku akoonu lulú ninu itutu naa.
(4) ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́: lílo àwọn olùṣe gígé wáyà dáyámọ́ǹdì lọ́wọ́lọ́wọ́ ní pàtàkì nípa lílo gígé wáyà dáyámọ́ǹdì ní àkókò kan náà, wọ́n sábà máa ń lo gígé wáyà ṣáájú ìwẹ̀nù mọ́yà, ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ àti ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, ìmọ̀ ẹ̀rọ gígé wáyà dáyámọ́ǹdì kan láti inú ẹ̀rọ gígé, wọ́n ní àpapọ̀ ìlà, ìtútù àti gígé wáyà ní ìyàtọ̀ ńlá, nítorí náà, ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ tó báramu, ìwọ̀n ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́, àgbékalẹ̀, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ yẹ kí ó jẹ́ fún gígé wáyà dáyámọ́ǹdì ṣe àtúnṣe tó báramu. Ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́ jẹ́ apá pàtàkì, ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́ àtilẹ̀bá ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́, alkalinity kò yẹ fún mímú wáyà dáyámọ́ǹdì mọ́, ó yẹ kí ó jẹ́ fún ojú ohun èlò wayà dáyámọ́ǹdì, àkójọpọ̀ àti àwọn ohun tí ó kù nínú ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́, kí ó sì mú pẹ̀lú ìlànà ìwẹ̀nùmọ́. Gẹ́gẹ́ bí a ti sọ lókè, a kò nílò ohun èlò ìwẹ̀nùmọ́ nínú gígé wáyà dáyámọ́ǹdì.
(5) Omi: Gígé wáyà dáyámọ́ǹdì, fífọ ṣáájú àti mímú omi tó kún fún àkúnwọ́sílẹ̀ ní àwọn ohun ìdọ̀tí, ó lè jẹ́ kí ó wọ inú ojú wafer sílíkọ́nì.
Dín ìṣòro tí ó wà nínú ṣíṣe irun velvet funfun kù àwọn àbá tó lè mú kí irun funfun farahàn.
(1) Láti lo ohun èlò ìtútù pẹ̀lú ìtújáde tó dára, àti ohun èlò ìtútù náà gbọ́dọ̀ lo ohun èlò ìtújáde tó kéré láti dín ìyókù àwọn ohun èlò ìtútù náà kù lórí ojú ohun èlò ìtútù náà;
(2) Lo àwo gílóò àti àwo resini tó yẹ láti dín ìbàjẹ́ wafer silicon kù;
(3) A fi omi mímọ́ da omi itutu naa pọ̀ lati rii daju pe ko si awọn ohun ti o ku ti o rọrun ninu omi ti a lo;
(4) Fún ojú tí a fi ṣe ohun èlò ìwẹ̀ onírin onírin onírin onírin onírin, lo iṣẹ́ àti ipa ìwẹ̀ tí ó yẹ fún ìwẹ̀nùmọ́;
(5) Lo eto imularada itutu ila diamond lati dinku akoonu ti lulú silicon ninu ilana gige, ki o le ṣakoso iyoku lulú silicon lori oju wafer silicon ti wafer naa daradara. Ni akoko kanna, o tun le mu ilọsiwaju ti iwọn otutu omi, sisan ati akoko pọ si ni fifọ ṣaaju, lati rii daju pe a fọ lulú silicon ni akoko.
(6) Nígbà tí a bá gbé wafer silicon sí orí tábìlì ìwẹ̀nùmọ́, a gbọ́dọ̀ tọ́jú rẹ̀ lẹ́sẹ̀kẹsẹ̀, kí a sì jẹ́ kí wafer silicon náà jẹ́ tútù nígbà gbogbo ìwẹ̀nùmọ́ náà.
(7) Wafer silikoni naa n jẹ ki oju naa tutu nigba ti a ba n yọ e kuro, ko si le gbẹ nipa ti ara. (8) Ninu ilana mimọ wafer silikoni, akoko ti a fi si afẹfẹ le dinku ni ibi ti o ti ṣee ṣe lati dena iṣelọpọ ododo lori oju wafer silikoni.
(9) Àwọn òṣìṣẹ́ ìwẹ̀nùmọ́ kò gbọdọ̀ fi ọwọ́ kan ojú ìwẹ̀nùmọ́ silicon nígbà gbogbo ìwẹ̀nùmọ́, wọ́n sì gbọ́dọ̀ wọ àwọn ibọ̀wọ́ roba, kí wọ́n má baà ṣe ìtẹ̀wé ìka ọwọ́.
(10) Ní ìtọ́kasí [2], òpin bátírì náà lo ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ hydrogen peroxide H2O2 + alkali NaOH gẹ́gẹ́ bí ìpíndọ́gba ìwọ̀n 1:26 (omi 3%NaOH), èyí tí ó lè dín ìṣẹ̀lẹ̀ ìṣòro náà kù dáadáa. Ìlànà rẹ̀ jọ omi ìwẹ̀nùmọ́ SC1 (tí a mọ̀ sí omi 1) ti wafer silicon semiconductor kan. Ọ̀nà pàtàkì rẹ̀: fíìmù ìwẹ̀nùmọ́ lórí ojú silicon wafer ni a ṣe nípasẹ̀ ìyọ́nùmọ́ H2O2, èyí tí NaOH ti ba jẹ́, àti ìyọ́nùmọ́ àti ìbàjẹ́ ń ṣẹlẹ̀ leralera. Nítorí náà, àwọn èròjà tí a so mọ́ lulú silicon, resini, irin, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ) tún ń jábọ́ sínú omi ìwẹ̀nùmọ́ pẹ̀lú ìpele ìbàjẹ́; nítorí ìyọ́nùmọ́ H2O2, ohun tí ó wà lórí ojú wafer náà ni a ń yọ́ kúrò sí CO2, H2O tí a sì ń yọ kúrò. Ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ yìí ni àwọn olùṣe wafer silicon tí wọ́n ń lo ìlànà yìí láti ṣe ìwẹ̀nùmọ́ wafer diamond cut wafer monocrystalline silicon wafer, wafer silicon ní ilé àti Taiwan àti àwọn olùṣe batiri mìíràn tí wọ́n ń lo àwọn ẹ̀dùn ìṣòro velvet funfun battery. Àwọn ilé iṣẹ́ bátírì tún ti lo irú ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ velvet kan náà, wọ́n tún ń ṣàkóso ìrísí velvet funfun dáadáa. A lè rí i pé a fi ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ yìí kún ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ silicon wafer láti yọ àjẹkù wafer silicon kúrò kí a lè yanjú ìṣòro irun funfun ní ìparí bátírì náà dáadáa.
ìparí ọ̀rọ̀
Lọ́wọ́lọ́wọ́, gígé wáyà dáyámọ́ǹdì ti di ọ̀nà ìṣiṣẹ́ pàtàkì ní ẹ̀ka gígé kírísítà kan ṣoṣo, ṣùgbọ́n nínú ìlànà gbígbé ìṣòro ṣíṣe wáyà dáyámọ́ǹdì lárugẹ ti ń yọ wáyà dáyámọ́ǹdì àti àwọn olùṣe bátírì lẹ́nu, èyí tí ó mú kí àwọn olùṣe bátírì wáyà dáyámọ́ǹdì wáyà dáyámọ́ǹdì wáyà dáyámọ́ǹdì wáyà dáyámọ́ǹdì, èyí tí ó mú kí àwọn olùṣe bátírì wáyà dáyámọ́ǹdì wáyà dáyámọ́ǹdì wáyà dáyámọ́ǹdì wáyà dáyámọ́ǹdì. Nípasẹ̀ ìṣàyẹ̀wò àfiwé agbègbè funfun, ó jẹ́ nítorí àṣẹ́kù lórí ojú wayà dáyámọ́ǹdì. Láti lè dènà ìṣòro wáyà dáyámọ́ǹdì dáyámọ́ǹdì nínú sẹ́ẹ̀lì, ìwé yìí ṣe àyẹ̀wò àwọn orísun tí ó ṣeé ṣe fún ìbàjẹ́ ojú ilẹ̀ ti wáyà dáyámọ́ǹdì, àti àwọn àbá ìdàgbàsókè àti ìwọ̀n nínú iṣẹ́. Gẹ́gẹ́ bí iye, agbègbè àti ìrísí àwọn àmì funfun, a lè ṣàyẹ̀wò àti mú àwọn okùnfà náà sunwọ̀n síi. A gbani nímọ̀ràn ní pàtàkì láti lo ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ hydrogen peroxide + alkali hydrogen peroxide. Ìrírí àṣeyọrí náà ti fihàn pé ó lè dènà ìṣòro wáyà dáyámọ́ǹdì wáyà dáyámọ́ǹdì tí ó ń ṣe wáyà dáyámọ́ǹdì, fún ìtọ́kasí àwọn onímọ̀ àti àwọn olùṣe gbogbogbòò ní ilé-iṣẹ́.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-30-2024