iroyin

Imọ-ẹrọ gige waya Diamond jẹ tun mọ bi imọ-ẹrọ gige abrasive isọdọkan.O ti wa ni awọn lilo ti electroplating tabi resini imora ọna ti Diamond abrasive fese lori dada ti irin waya, Diamond waya taara anesitetiki lori dada ti ohun alumọni ọpá tabi ohun alumọni ingot lati gbe awọn lilọ, lati se aseyori awọn ipa ti gige.Ige okun waya Diamond ni awọn abuda ti iyara gige iyara, deede gige gige ati pipadanu ohun elo kekere.

Ni bayi, ọja kristali kan ṣoṣo fun gige gige ohun alumọni okun waya diamond ti gba ni kikun, ṣugbọn o tun ti pade ninu ilana igbega, laarin eyiti velvet funfun jẹ iṣoro ti o wọpọ julọ.Ni wiwo eyi, iwe yii dojukọ bi o ṣe le ṣe idiwọ gige waya diamond monocrystalline silikoni wafer velvet funfun iṣoro.

Ilana mimọ ti okun waya diamond gige monocrystalline silikoni wafer ni lati yọkuro wafer ohun alumọni ti a ge nipasẹ ohun elo ẹrọ ẹrọ waya lati inu awo resini, yọ rinhoho roba kuro, ki o sọ di mimọ ohun alumọni.Ohun elo mimọ jẹ nipataki ẹrọ isọ-tẹlẹ (ẹrọ degumming) ati ẹrọ mimọ.Ilana mimọ akọkọ ti ẹrọ mimu-ṣaaju ni: ifunni-spray-spray-ultrasonic cleaning-degumming-clean water rinsing-underfeeding.Ilana mimọ akọkọ ti ẹrọ mimọ jẹ: fifun omi-funfun omi mimu-mimu-mimu-mimu-mimu alkali fifọ-alkali fifọ-pure omi mimu-tutu-pure omi rinsing-pre-dehydration (o lọra gbígbé) -gbigbe-fifun.

Awọn opo ti nikan-crystal felifeti sise

Monocrystalline silikoni wafer jẹ iwa ti ipata anisotropic ti wafer silikoni monocrystalline.Ilana ifaseyin jẹ idogba ifaseyin kemikali atẹle:

Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑

Ni pataki, ilana iṣelọpọ ogbe jẹ: Ojutu NaOH fun oriṣiriṣi ipata oṣuwọn ti oriṣiriṣi oriṣiriṣi gara, (100) iyara ipata oju ilẹ ju (111), nitorinaa (100) si wafer silikoni monocrystalline lẹhin ipata anisotropic, bajẹ ti o ṣẹda lori dada fun (111) konu apa mẹrin, eyun “jibiti” igbekalẹ (gẹgẹ bi o ṣe han ni nọmba 1).Lẹhin ti iṣeto ti eto naa, nigbati ina ba ṣẹlẹ si ite jibiti ni igun kan, ina naa yoo tan imọlẹ si ite ni igun miiran, ti o dagba atẹle tabi gbigba diẹ sii, nitorinaa dinku ifarabalẹ lori dada ti wafer ohun alumọni. , iyẹn ni, ipa pakute ina (wo Nọmba 2).Iwọn ti o dara julọ ati isokan ti eto “jibiti”, diẹ sii ni ipa pakute ti o han gedegbe, ati kekere emitrate dada ti wafer silikoni.

Nọmba 1: Micromorphology ti monocrystalline silicon wafer lẹhin iṣelọpọ alkali

olusin 2: Awọn ilana pakute ina ti "jibiti" be

Onínọmbà ti awọn nikan gara funfun

Nipa Antivirus itanna maikirosikopu lori funfun ohun alumọni wafer, o ti ri wipe jibiti microstructure ti awọn funfun wafer ni agbegbe ti a besikale ko akoso, ati awọn dada dabi enipe lati ni kan Layer ti "waxy" aloku, nigba ti jibiti be ti awọn ogbe. ni agbegbe funfun ti wafer silikoni kanna ti a ṣẹda dara julọ (wo Nọmba 3).Ti awọn iṣẹku ba wa lori dada ti ohun alumọni ohun alumọni monocrystalline, dada yoo ni agbegbe ti o ku “jibiti” iwọn igbekalẹ ati iran iṣọkan ati ipa ti agbegbe deede ko to, ti o yọrisi ifasilẹ oju ilẹ felifeti ti o ku ga ju agbegbe deede lọ, awọn agbegbe pẹlu giga reflectivity akawe si awọn deede agbegbe ninu awọn visual reflected bi funfun.Gẹgẹbi a ti le rii lati apẹrẹ pinpin ti agbegbe funfun, kii ṣe deede tabi apẹrẹ deede ni agbegbe nla, ṣugbọn ni awọn agbegbe agbegbe nikan.O yẹ ki o jẹ pe awọn idoti agbegbe ti o wa lori aaye ti ohun alumọni silikoni ko ti di mimọ, tabi ipo ti o wa ni oju-iwe ti ohun alumọni ti o wa ni erupẹ ti o ṣẹlẹ nipasẹ idoti keji.

Ṣe nọmba 3: Ifiwera awọn iyatọ microstructure agbegbe ni awọn wafers silikoni funfun felifeti

Awọn dada ti awọn Diamond waya gige ohun alumọni wafer jẹ diẹ dan ati awọn bibajẹ jẹ kere (bi o han ni Figure 4).Ti a ṣe afiwe pẹlu wafer silikoni amọ, iyara ifa ti alkali ati okun waya diamond gige ohun alumọni wafer dada jẹ losokepupo ju ti amọ gige monocrystalline silikoni wafer, nitorinaa ipa ti awọn iṣẹku dada lori ipa felifeti jẹ kedere diẹ sii.

Nọmba 4: (A) Micrograph ti oju ti amọ ge silikoni wafer (B) micrograph dada ti waya diamond ge wafer silikoni

Awọn ifilelẹ ti awọn iṣẹku orisun ti Diamond waya-ge silikoni wafer dada

(1) Coolant: awọn paati akọkọ ti tutu okun waya diamond jẹ surfactant, dispersant, defamagent ati omi ati awọn paati miiran.Omi gige pẹlu iṣẹ ṣiṣe to dara julọ ni idaduro to dara, pipinka ati agbara mimọ irọrun.Surfactants nigbagbogbo ni awọn ohun-ini hydrophilic to dara julọ, eyiti o rọrun lati nu kuro ninu ilana mimọ wafer ohun alumọni.Aruwo lemọlemọfún ati kaakiri ti awọn afikun wọnyi ninu omi yoo gbejade nọmba nla ti foomu, ti o yọrisi idinku ti sisan tutu, ni ipa iṣẹ itutu agbaiye, ati foomu to ṣe pataki ati paapaa awọn iṣoro aponsedanu foomu, eyiti yoo ni ipa lori lilo ni pataki.Nitorinaa, a maa n lo itutu agbaiye pẹlu aṣoju defoaming.Ni ibere lati rii daju awọn defoaming iṣẹ, awọn ibile silikoni ati polyether ni o wa maa ko dara hydrophilic.Epo inu omi jẹ rọrun pupọ lati adsorb ati wa lori dada ti wafer ohun alumọni ni mimọ ti o tẹle, ti o yọrisi iṣoro ti aaye funfun.Ati pe ko ni ibamu daradara pẹlu awọn paati akọkọ ti itutu agbaiye, nitorinaa, o gbọdọ ṣe si awọn paati meji, Awọn paati akọkọ ati awọn aṣoju defoaming ni a fi kun ninu omi, Ninu ilana lilo, ni ibamu si ipo foomu, Ko le ṣe iṣakoso titobi ni iwọn. lilo ati iwọn lilo awọn aṣoju antifoam, Le ni irọrun gba laaye fun iwọn apọju ti awọn aṣoju anoaming, Ti o yori si ilosoke ninu awọn iṣẹku dada wafer silikoni, O tun jẹ airọrun diẹ sii lati ṣiṣẹ, sibẹsibẹ, nitori idiyele kekere ti awọn ohun elo aise ati aṣoju defoaming aise ohun elo, Nitorina, julọ ninu awọn abele coolant gbogbo lo yi agbekalẹ eto;Itutu agbaiye miiran nlo aṣoju defoaming tuntun, Le jẹ ibaramu daradara pẹlu awọn paati akọkọ, Ko si awọn afikun, Le munadoko ati titobi ṣakoso iye rẹ, Le ṣe idiwọ lilo ti o pọ ju, Awọn adaṣe tun rọrun pupọ lati ṣe, Pẹlu ilana mimọ to dara, Awọn oniwe- Awọn iṣẹku le ṣe iṣakoso si awọn ipele kekere pupọ, Ni Japan ati awọn aṣelọpọ ile diẹ gba eto agbekalẹ yii, Sibẹsibẹ, nitori idiyele ohun elo aise giga rẹ, anfani idiyele rẹ ko han gbangba.

(2) Lẹ pọ ati ẹya resini: ni ipele nigbamii ti ilana gige waya diamond, Wafer silikoni ti o sunmọ opin ti nwọle ti ge nipasẹ ilosiwaju, Wafer silikoni ti o wa ni opin ijade ko tii ge nipasẹ, Diamond gige kutukutu waya ti bere lati ge si awọn roba Layer ati resini awo, Niwon awọn ohun alumọni opa lẹ pọ ati awọn resini ọkọ ni o wa mejeeji iposii resini awọn ọja, Awọn oniwe-mirọ ojuami jẹ besikale laarin 55 ati 95 ℃, Ti o ba ti rirọ ojuami ti awọn roba Layer tabi awọn resini. awo ti wa ni kekere, o le ni rọọrun ooru lakoko ilana gige ati ki o jẹ ki o di rirọ ati yo, Ti a fi si okun waya irin ati oju-iwe ohun alumọni, Fa agbara gige ti laini diamond dinku, Tabi awọn ohun elo siliki ti gba ati abariwon pẹlu resini, Ni kete ti so, o jẹ gidigidi soro lati w si pa, Iru kontaminesonu okeene waye nitosi eti eti ti awọn ohun alumọni wafer.

(3) lulú ohun alumọni: ninu ilana gige gige waya diamond yoo ṣe ọpọlọpọ lulú ohun alumọni, pẹlu gige, akoonu iyẹfun amọ-lile yoo jẹ diẹ sii ati siwaju sii, nigbati lulú ba tobi to, yoo faramọ oju ohun alumọni, ati gige okun waya diamond ti iwọn ohun alumọni lulú ati iwọn ti o yori si irọrun rẹ si adsorption lori dada ohun alumọni, jẹ ki o ṣoro lati sọ di mimọ.Nitorinaa, rii daju imudojuiwọn ati didara ti itutu agbaiye ati dinku akoonu lulú ninu itutu.

(4) oluranlowo mimọ: lilo lọwọlọwọ ti awọn olupilẹṣẹ gige okun waya diamond julọ ni lilo gige amọ ni akoko kanna, pupọ julọ lo gige gige amọ, ilana mimọ ati aṣoju mimọ, ati bẹbẹ lọ, imọ-ẹrọ gige okun waya diamond kan lati ẹrọ gige, ṣe agbekalẹ kan pipe pipe ti ila, coolant ati gige amọ ni iyatọ nla, nitorinaa ilana mimọ ti o baamu, iwọn lilo aṣoju mimọ, agbekalẹ, ati bẹbẹ lọ yẹ ki o jẹ fun gige okun waya diamond ṣe atunṣe ti o baamu.Aṣoju mimọ jẹ abala pataki, atilẹba ti o sọ di mimọ agbekalẹ surfactant, alkalinity ko dara fun mimọ okun waya diamond gige gige ohun alumọni, yẹ ki o wa fun dada ti ohun alumọni ohun alumọni okun waya diamond, akopọ ati awọn iṣẹku dada ti oluranlowo mimọ ìfọkànsí, ati mu pẹlu pẹlu ilana mimọ.Gẹgẹbi a ti sọ loke, akopọ ti oluranlowo defoaming ko nilo ni gige amọ.

(5) Omi: gige waya diamond, fifọ-ṣaaju ati mimọ omi ti nṣan ni awọn ohun aimọ, o le ṣe itọsi si oju ti wafer silikoni.

Din iṣoro ti ṣiṣe irun felifeti funfun han awọn didaba

(1) Lati lo itutu pẹlu pipinka ti o dara, ati pe a nilo itutu agbaiye lati lo aṣoju defoaming ti o ku kekere lati dinku iyokuro ti awọn ohun elo itutu lori oju ti wafer ohun alumọni;

(2) Lo lẹ pọ to dara ati awo resini lati dinku idoti ti wafer silikoni;

(3) A ti fo omi tutu pẹlu omi mimọ lati rii daju pe ko si awọn idoti ti o rọrun ninu omi ti a lo;

(4) Fun awọn dada ti Diamond waya ge silikoni wafer, lo aṣayan iṣẹ-ṣiṣe ati ninu ipa diẹ dara ninu oluranlowo;

(5) Lo eto imularada ori ayelujara ti laini Diamond coolant lati dinku akoonu ti lulú ohun alumọni ninu ilana gige, ki o le ṣakoso imunadoko aloku ti lulú ohun alumọni lori dada ohun alumọni wafer ti wafer.Ni akoko kanna, o tun le mu ilọsiwaju ti iwọn otutu omi, sisan ati akoko ni iṣaju-fifọ, lati rii daju pe a ti fọ lulú siliki ni akoko.

(6) Ni kete ti a ti gbe wafer silikoni sori tabili mimọ, o gbọdọ ṣe itọju lẹsẹkẹsẹ, ki o jẹ ki ohun alumọni tutu tutu lakoko gbogbo ilana mimọ.

(7) Awọn ohun alumọni wafer ntọju awọn dada tutu ninu awọn ilana ti degumming, ati ki o ko ba le gbẹ nipa ti.(8) Ninu ilana mimọ ti wafer ohun alumọni, akoko ti o han ni afẹfẹ le dinku niwọn bi o ti ṣee ṣe lati ṣe idiwọ iṣelọpọ ododo lori oju ti wafer silikoni.

(9) Awọn oṣiṣẹ mimọ ko ni kan si oju ti wafer silikoni taara lakoko gbogbo ilana mimọ, ati pe o gbọdọ wọ awọn ibọwọ roba, ki o ma ṣe gbejade titẹ ika ọwọ.

(10) Ni itọkasi [2], opin batiri naa nlo hydrogen peroxide H2O2 + alkali NaOH ilana mimọ ni ibamu si ipin iwọn didun ti 1:26 (3% NaOH ojutu), eyiti o le dinku iṣẹlẹ ti iṣoro naa ni imunadoko.Ilana rẹ jẹ iru si ojutu mimọ SC1 (ti a mọ ni igbagbogbo bi omi 1) ti wafer ohun alumọni semikondokito kan.Ilana akọkọ rẹ: fiimu ifoyina lori oju iboju ohun alumọni ni a ṣẹda nipasẹ oxidation ti H2O2, eyiti o jẹ ibajẹ nipasẹ NaOH, ati ifoyina ati ibajẹ waye leralera.Nitorinaa, awọn patikulu ti a so mọ lulú silikoni, resini, irin, bbl) tun ṣubu sinu omi mimọ pẹlu Layer ipata;nitori awọn ifoyina ti H2O2, awọn Organic ọrọ lori wafer dada ti wa ni decomposed sinu CO2, H2O ati ki o kuro.Ilana mimọ yii ti jẹ awọn aṣelọpọ wafer ohun alumọni ni lilo ilana yii lati ṣe ilana mimọ ti okun waya diamond gige monocrystalline silikoni wafer, wafer silikoni ninu ile ati Taiwan ati awọn olupilẹṣẹ batiri miiran lilo ti awọn ẹdun ọkan funfun felifeti.Awọn aṣelọpọ batiri tun wa ti lo iru ilana isọtẹlẹ felifeti kanna, tun ṣakoso ni imunadoko hihan funfun felifeti.O le rii pe ilana mimọ yii ni a ṣafikun ni ilana mimọ ohun alumọni wafer lati yọ iyọkuro wafer ohun alumọni kuro ki o le yanju iṣoro ti irun funfun ni imunadoko ni opin batiri naa.

ipari

Ni bayi, gige waya diamond ti di imọ-ẹrọ iṣelọpọ akọkọ ni aaye ti gige gige kan ṣoṣo, ṣugbọn ninu ilana ti igbega iṣoro ti ṣiṣe funfun felifeti ti n ṣe wahala wafer siliki ati awọn olupilẹṣẹ batiri, ti o yori si awọn olupilẹṣẹ batiri si ohun alumọni gige waya diamond. wafer ni o ni diẹ ninu awọn resistance.Nipasẹ itupalẹ lafiwe ti agbegbe funfun, o jẹ pataki nipasẹ iyoku lori dada wafer ohun alumọni.Lati le ṣe idiwọ iṣoro daradara ti wafer silikoni ninu sẹẹli, iwe yii ṣe itupalẹ awọn orisun ti o ṣeeṣe ti idoti dada ti wafer ohun alumọni, ati awọn imọran ilọsiwaju ati awọn igbese ni iṣelọpọ.Gẹgẹbi nọmba, agbegbe ati apẹrẹ ti awọn aaye funfun, awọn okunfa le ṣe itupalẹ ati ilọsiwaju.O ti wa ni pataki niyanju lati lo hydrogen peroxide + alkali ninu ilana.Iriri aṣeyọri ti fihan pe o le ṣe idiwọ ni imunadoko iṣoro ti okun waya diamond gige wafer ohun alumọni ṣiṣe funfun felifeti, fun itọkasi ti awọn inu ile-iṣẹ gbogbogbo ati awọn aṣelọpọ.