irohin

Imọ-ẹrọ Seli Diamond ni a tun mọ bi imọ-ẹrọ gige gige. O jẹ lilo itanna tabi ọna ifigagbaga ti a fiwewe ti atekale irin, okun waya ti irin, lati gbe ipa ti gige. Ige Waki ​​gige ni awọn abuda ti iyara gige gige, deede gige gige ati pipadanu aye kekere.

Ni lọwọlọwọ, ọjà gara okuta kan fun gige okun ti o wa ni ti gba ni kikun, ṣugbọn o tun ti ṣe alabapade ninu ilana igbega, laarin eyiti aṣọ aṣọ funfun ti o wọpọ julọ. Ni wiwo eyi, iwe yii dojukọ bi o ṣe le yago fun gige okun waya alawọ okun Monocrystalline silcet funfun ti funfun.

Ilana mimọ ti gige okun okun ware Mourvystarinne lati yọ ohun elo silfon Wari kuro nipasẹ ohun elo Ẹrọ Ware lati inu ọpa Agbejade, yọ ṣiṣan roba, ki o wẹ siliki wafer. Ohun elo mimọ jẹ ẹrọ iṣaju tẹlẹ (ẹrọ kikoṣu) ati ẹrọ iwẹ. Ilana akọkọ ti ẹrọ iṣaaju jẹ: ono-fungbin-fun sokiri-sokiri omi-is-teraed. Ilana akọkọ ti ẹrọ jẹ: ono omi funfun ti omi ringing-alkali omi fifọ-amọ-bi-imudara) -Dinring-onṣẹ.

Opo ti o jẹ ohun ti o nyara crystat nikan

Monocrystalline Silicon jẹ iwa ti iwa ẹya AnisotroPopic ti ipanu anisotropic ti monocrystalline sikocon sicon. Ofin ti o le jẹ itọnisọna iṣẹlẹ kemikali:

Si + 2naoh + r2sio3 + 2h2 ↑

Ni pataki, ilana tito ilana supeede fun oriṣiriṣi iloro ti o yatọ, nitorinaa (100) si oju opolongo ti o yatọ ju (111) si oju opolongo, nikẹhin nipasẹ dada fun (111) Konu oni-mẹrin mẹrin, eyun "beramid" be (bi o ti han ninu Nọmba 1). Lẹhin a ṣẹda eto naa, nigbati ina jẹ iṣẹlẹ si jiji Pyramid ni igun kan, ti ina yoo tan si iho ni igun miiran, ni idinku afihan lori siliki ti silicon wafer , iyẹn ni, ipa ojiji ina (wo nọmba 2). Irisi "Pyramid" ti o dara julọ, ipa diẹ sii ti o han gbangba, ati isalẹ ilẹ iṣọpọ ti silicon wafer.

Nọmba 1: micromorphology of conocrystalline sikon wafon lẹhin iṣelọpọ alkali

Nọmba 2: Ilana ina ti awọn "pyramid" be

Onínọmbà ti iṣan funfun crystal

Nipasẹ ọlọjẹ ẹrọ minisita lori ohun-elo Silicon funfun Ni agbegbe White ti Silicon kanna ni a ṣẹda dara (wo nọmba 3). Ti o ba wa lori awọn iṣẹ wa lori dada ti silicrystalline siliconell, awọn aaye naa yoo ni iwọn deede "Pyramid" ti ko ni iṣọkan agbegbe ti o ga julọ ti o ga julọ ju agbegbe deede lọ, awọn agbegbe pẹlu afihan giga ti akawe si agbegbe deede ninu awọn afihan wiwo bi funfun. Gẹgẹbi a le rii lati apẹrẹ pinpin ti agbegbe funfun, kii ṣe apẹrẹ deede tabi deede ni agbegbe nla, ṣugbọn ni awọn agbegbe agbegbe nikan. O yẹ ki o jẹ pe awọn idibo agbegbe lori dada ti silicon wafer ko ti sọ di mimọ, tabi ipo dada ti silicon wafer jẹ fa nipasẹ idoti apapo.

Olusin 3: Afiwera ti awọn iyatọ mimọ agbegbe ni Felvet White

Oju dada ti gige okun ware ti o wafer jẹ diẹ dan dan ati bibajẹ naa jẹ kere (bi o ti han ninu Nọmba 4). Ti a ṣe afiwe pẹlu amọ-ara silicon, iyara iyara gbigbe ti alkali ati okun ware culiconall, nitorinaa ipa ti awọn iṣẹda dada jẹ diẹ sii han.

Nọmba 4: (a) bulọọgi bulọọgi ti kẹtẹkẹtẹ ti a fi siliki (b) dada bulọọgi ti Dinage okun okun Diarin Silocon

Orisun ọwọn akọkọ orisun ti Diamond okun waya

(1) tutu: Awọn paati akọkọ ti gige okun waya ti okuta iyebiye jẹ surfact, tuka, ibajẹ ati omi ati omi ati omi ati omi miiran. Omi gige pẹlu iṣẹ ti o tayọ ni idaduro ti o dara, fifa ati agbara ṣiṣe irọrun. Awọn suffants nigbagbogbo ni awọn ohun-ini hydrophilic ti o dara julọ, eyiti o rọrun lati nu kuro ni ilana ohun ija siliki warl. Siwaju ti o tẹsiwaju ati yiyi ti awọn afikun awọn afikun foomu, Abajade ni idinku iṣẹ tutu, paapaa foomu to ṣe pataki, eyiti yoo fowo lile lilo. Nitorina, a nlo coot nigbagbogbo pẹlu oluranlowo idibajẹ. Lati le rii daju iṣẹ iyasọtọ, silicon ibile ati polyume jẹ igbagbogbo hydrophilic ko dara nigbagbogbo. Ororo ni omi jẹ rọrun pupọ si Asogob ki o wa lori dada ti sikocon wafer ni ipilẹ atẹle, Abajade ni iṣoro ti aaye funfun. Ati pe ko ni ibamu daradara pẹlu awọn ẹya akọkọ ti coot, nitorinaa, o gbọdọ ṣe sinu awọn ẹya meji, ni ilana ti lilo, ni ibamu si ipo foomu, ko le ṣakoso ni ibamu lilo ati iwọn lilo ti awọn aṣoju alaiṣẹ, le gba awọn iṣọrọ fun awọn aṣoju ti a ko ni itara Awọn ohun elo, nitorina, julọ ti compot tutu ti gbogbo lo eto agbekalẹ yii; Nkopọ miiran nlo oluranlowo idibajẹ tuntun, le ni ibamu daradara pẹlu lilo akọkọ, ko tun ṣe idiwọ pupọ lati ṣe, pẹlu ilana ṣiṣe deede, awọn Awọn iṣẹku ni a le dari si awọn ipele pupọ pupọ, ni Japan ati awọn olupese ile diẹ, sibẹsibẹ, nitori idiyele ohun elo giga rẹ, anfani idiyele rẹ ko han.

(2) lẹpo ati ẹya Resini kan okun waya ti bẹrẹ lati ge si pa ro roba ati awo resini, nitori pe awọn apoti Silika oto jẹ besini rep awo ti lọ silẹ, o le ni irọrun ni irọrun lakoko ilana gige ati ki o fa ki o di rirọ ati you si okun irin ti laini Diamond dinku, tabi awọn wadiolers ti o jẹ ki o gba ati Sopin pẹlu resini, ni kete ti o ba so, o nira pupọ lati wẹ, iru kontampet pupọ julọ waye nitosi eti siliki wafer.

(3) lulú lulú: ninu ilana ti gige okun waya ti o dara julọ, pẹlu gige kan ti lulú, nigbati lulú ti o ga, nigbati o ga julọ, nigbati o ba wa ga, nigbati o ba fara pọ, yoo faramọ Ati awọn gige okun ware ti siliki iwọn ati iwọn yorisi si irọrun rẹ si aderuba lori siliki. Nitorina, rii daju imudojuiwọn ati didara ti coolant ati dinku akoonu lulú ninu cootant.

(4) Aṣoju ninu Aṣoju: Lilo lọwọlọwọ ti awọn iṣelọpọ Igokuro okun ware ti o pọ julọ ni akoko kanna, ọna ṣiṣe ati oluranlowo gige didọ lati gige eto gige, dagba a Eto ti o pari, coot ati gige amọ ni iyatọ nla, nitorinaa ilana mimọ ti o baamu, agbekalẹ aṣoju, ati bẹbẹ lọ, ati bẹbẹ lọ jẹ ki iṣatunṣe iyebiye ṣe itọju atunṣe. Aṣoju Ninu Aṣoju pataki, agbekalẹ Aṣoju atilẹba ti o dara julọ ilana mimọ. Gẹgẹbi a ti sọ loke, tiwqn ti aṣoju definramu ko nilo ni gige amọ.

(5) Omi: gige okun ware, fifọ-iṣaju ati fifi omi ṣan omi ṣan, o le jẹ adcorbed si dada si dada ti silicon wafer.

Din iṣoro ti ṣiṣe funfun irun ori funfun ti o han awọn aba

(1) Lati lo coorant pẹlu pipinsi ti o dara, ati pe a nilo Cooltant lati lo igbaradi ti ko ni opin lati dinku awọn ohun elo tutu ti o wa lori dalicon wafer;

(2) Lo alubosa ti o yẹ ati awo Resini lati dinku idoti ti Silocon.

(3) Awọn tutu ti o tu sita pẹlu omi funfun lati rii daju pe ko si awọn ijẹun ti o rọrun ninu omi ti a lo;

(4) Fun dada ti okun ware ti o dabi aṣayan, lo iṣẹ ṣiṣe ati nu mimọ diẹ sii aṣoju titu to dara julọ;

(5) Lo Diamond Real Redlanc lori ayelujara lati dinku akoonu ti Silicon lulú ninu ilana gige, nitorinaa lati ṣakoso isinmi ti silicon lulú lori siliki. Ni akoko kanna, o tun le mu ilọsiwaju pọ si, ṣiṣan ati akoko ni fifọ fifẹ, lati rii daju pe yanyan lulú ti wa ni fo ni akoko

(6) Ni kete ti o ba wa siliki wafer wa lori tabili mimọ, o gbọdọ wa ni itọju lẹsẹkẹsẹ, ki o tọju ohun elo siliki walfer tutu lakoko gbogbo ilana mimọ.

(7) Walicon walfer ntọju tutu tutu ni ilana degumming, ati pe ko le gbẹ nipa ti. (8) Ninu ilana mimọ ti ohun alumọni wafer, akoko ti o farahan ni afẹfẹ le dinku bi o ti ṣee ṣe lati ṣe idiwọ iṣelọpọ ododo lori dada ti silicon wafer.

(9) Awọn oṣiṣẹ mimọ ko ni kan si oke ti siliki wafer lakoko gbogbo ilana mimọ, ati pe o gbọdọ wọ awọn ibọwọ roba, ki bi ko ṣe gbejade titẹ itẹka.

(10) Ni itọkasi [2], opin batiri nlo Hydrogen peroxide H2O2 + Alpali ti 1:26 (3% Ohun elo Nah), eyiti o le dinku iṣẹlẹ ti iṣoro naa. Ofin rẹ jẹ iru si ojutu pipe sc1 (ti a mọ bi omi-omi 1) ti semicondoctoclocon kan wafon. Ẹrọ akọkọ rẹ: fiimu ti oxiditionation lori yanyan wa da dada nipasẹ Nuideration ti H2O2, eyiti o jẹ ohun elo afẹfẹ ati atẹgun naa waye leralera. Nitorinaa, awọn patikulu ti so mọ iyẹfun siliki, resini, irin, ati bẹbẹ lọ) tun ṣubu sinu omi mimọ pẹlu Layer cariosi; Nitori aipe ti H2O2, ọrọ Organic lori oju wafer ti decom sinu co Com, H2O ati kuro. Ilana ti mimọ ti jẹ awọn aṣelọpọ wafer wafer nipa lilo ilana yii lati ilana gige okun okun ware ara ilu Mocrystalline, sikwan ati taiwan waferti awọn ẹdun ọkan ti o ni agbara falveet. Awọn alagbaṣe batiri tun wa ti lo ilana asọtẹlẹ akọkọ Forelvet ti o jọra, tun ṣe ṣakoso ifarahan ti aṣọ ibora funfun. O le rii pe ilana afọmọ Ọrọ yii wa ni ilana ohun alumọni Waorming lati yọ iyokù walfer yẹ ki bi lati yanju iṣoro irun funfun ni ipari batiri.

ipari

Ni bayi, gige okun okun dide ti di imọ-ẹrọ akọkọ akọkọ ni aaye ti gige gige irin-ajo nikan, ṣugbọn ni awọn iṣelọpọ gige ati awọn iṣelọpọ batiri, yori siliki gige siliki gige siliti okun. Wafer ni diẹ ninu resistance. Nipasẹ igbekale ti afiwe ti agbegbe White, o jẹ eyiti o fa ni o kun nipasẹ igbekusa lori dada ti silicon wafer. Lati le ṣe idiwọ iṣoro ti ohun alumọni wafer ninu sẹẹli, iwe yii ti o ṣeeṣe jẹ idoti ti o ṣeeṣe ti didi sirikon, ati awọn imọran imudara ati awọn ọna ni iṣelọpọ. Gẹgẹbi nọmba, agbegbe ati apẹrẹ ti awọn aaye funfun, awọn okunfa le ṣe atupale ati ilọsiwaju. O ti wa ni pataki lati lo hydrogen peroxide 2 Alkali. Iriri ti o ṣaṣeyọri ti fihan pe o le ṣe idiwọ iṣoro ti okun waya ti o wa ni gige, fun itọkasi ti awọn iswo ile-iṣẹ gbogbogbo ati awọn aṣelọpọ.